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用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。购技术主要要求1.单晶炉装料量（单台机产能多少） 2. 能拉多长，几寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品质（少子寿命，电阻率，碳氧含量，位错密度） 5设备工艺控制保 6自动化控制程度 7设备主要关键部件的配置等 。单晶炉型号定义\单晶炉型号有两种命名方式，一种为投料量，一种为炉室直径。氦气为主）环境中单晶炉简介编辑/单晶炉是一种在惰性气体（氮气比如85炉，是指主炉筒的直径大小，120，150等型号是由装料量来决定的\单晶炉主要需要控制的方面一，晶体直径（尺寸）二，温度（率控制）三，原料（硅料）四，泄漏率，氩气质量等\本文由rxl，欢迎大家完善。

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并与炉内生成的 一氧化硅及杂质粉尘混合，由于单晶炉内的加热器和坩埚支持器等均由石 墨制成， 一氧化硅易腐蚀所述石墨制成的器件且杂质粉尘易吸附在这些器 件上，从而影响了单晶炉的使用寿命。因此，在向单晶炉内不断充入氩气 的同时，还必须用真空泵将混合气体排出炉外，在排气时，混合气体流经 炉中的加热器，坩埚支持器等处，后经过炉下端的排气口排出。上述图1的单晶炉的不足之处在于单晶炉内空间较大。概况编 z范围电源供电的感应电炉。使用多的频率为150-2500Hz。随着炉子容量的增大，使用的电流频率降低。国产中频感应炉的容量从50KG到20T，电流频率相应为2500-150Hz。这种涡流同样具有中频电流的一些性质，即，金属自身的自由电子在有电阻的金属体里流动要产生热量。例如，把一根金属圆柱体放在有交变中频电流的感应圈里，金属圆柱体没有与感应线圈直接接触，通电线圈本身温度已很低，可是圆柱体表面被加热到发红，甚熔化，而且这种发红和熔化的速度只要调节频率大小和电流的强弱能实现。如果圆柱体放在线圈，那么圆柱体周边的温度是一样的，圆柱体加热和熔化也没有产生有害气体、强光污染环境。